七点标准网英文：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process
GB/T 32815-2016介绍：
国家标准《硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、东南大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司。
主要起草人张大成 、王玮 、李海斌 、杨芳 、黄贤 、何军 、刘冲 、刘伟 、周再发 、刘军山 、李婷 、姜博岩 。
GB/T 32815-2016标准状态：
- 发布于2016-08-29
- 实施于2017-03-01
- 废止
GB/T 32815-2016基础信息：
标准号：GB/T 32815-2016
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
标准类别：方法
中国标准分类号：L55
国际标准分类号： 31.200
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
GB/T 32815-2016起草单位：
北京大学，大连理工大学，北京青鸟元芯微系统科技有限公司，中机生产力促进中心，东南大学，
GB/T 32815-2016起草人：
张大成，王玮，黄贤，何军，周再发，刘军山，李海斌，杨芳，刘冲，刘伟，李婷，姜博岩，