英文:Test method for radius of curvature of crystal plane in GaN single crystal substrate wafers
GB/T 41751-2022介绍:
国家标准《氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司、厦门柯誉尔科技有限公司、山西华晶恒基新材料有限公司、福建兆元光电有限公司。
主要起草人邱永鑫 、徐科 、王建峰 、任国强 、李腾坤 、左洪波 、郑树楠 、刘立娜 、杨鑫宏 、邝光宁 、丁崇灯 、陈友勇 。
GB/T 41751-2022标准状态:
- 发布于2022-10-14
- 实施于2023-02-01
- 废止
GB/T 41751-2022基础信息:
标准号:GB/T 41751-2022
发布日期:2022-10-14
实施日期:2023-02-01
标准类别:方法
中国标准分类号:H21
国际标准分类号: 77.040
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
GB/T 41751-2022起草单位:
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,中国电子科技集团公司第四十六研究所,厦门柯誉尔科技有限公司,福建兆元光电有限公司,苏州纳维科技有限公司,哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司,山西华晶恒基新材料有限公司,
GB/T 41751-2022起草人:
邱永鑫,徐科,李腾坤,左洪波,杨鑫宏,邝光宁,王建峰,任国强,郑树楠,刘立娜,丁崇灯,陈友勇,