英文:Micro-electromechanical systems technology(MEMS) —Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures
GB/T 42158-2023介绍:
国家标准《微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛(杭州)微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心、深圳市道格特科技有限公司。
主要起草人张硕 、顾枫 、李根梓 、沈俊杰 、俞骁 、周再发 、王敏锐 、贾建国 、许百宏 、许克宇 、王志远 、刘志广 。
GB/T 42158-2023标准状态:
- 发布于2023-03-17
- 实施于2023-07-01
- 废止
GB/T 42158-2023基础信息:
标准号:GB/T 42158-2023
发布日期:2023-03-17
实施日期:2023-07-01
标准类别:基础
中国标准分类号:L59
国际标准分类号: 31.080.99
归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
GB/T 42158-2023采标情况:
本标准等同采用IEC国际标准:IEC 62047-26:2016。
采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第26部分:微沟槽和针结构的描述和测量方法。
GB/T 42158-2023起草单位:
苏州市质量和标准化院,苏州揽芯微纳科技有限公司,苏州市标准化协会,深圳市中图仪器股份有限公司,深圳市美思先端电子有限公司,深圳市道格特科技有限公司,中机生产力促进中心有限公司,东南大学,美满芯盛(杭州)微电子有限公司,四川富生电器有限责任公司,中国合格评定国家认可中心,
GB/T 42158-2023起草人:
张硕,顾枫,俞骁,周再发,许百宏,许克宇,李根梓,沈俊杰,王敏锐,贾建国,王志远,刘志广,