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GB/T 42158-2023微机电系统(MEMS)技术微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法国家标准

英文:Micro-electromechanical systems technology(MEMS) —Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures

GB/T 42158-2023介绍:

国家标准《微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛(杭州)微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心、深圳市道格特科技有限公司。

主要起草人张硕 、顾枫 、李根梓 、沈俊杰 、俞骁 、周再发 、王敏锐 、贾建国 、许百宏 、许克宇 、王志远 、刘志广 。

GB/T 42158-2023标准状态:

  1. 发布于2023-03-17
  2. 实施于2023-07-01
  3. 废止

GB/T 42158-2023基础信息:

标准号:GB/T 42158-2023

发布日期:2023-03-17

实施日期:2023-07-01

标准类别:基础

中国标准分类号:L59

国际标准分类号: 31.080.99

归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

GB/T 42158-2023采标情况:

本标准等同采用IEC国际标准:IEC 62047-26:2016。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第26部分:微沟槽和针结构的描述和测量方法。

GB/T 42158-2023起草单位:

苏州市质量和标准化院,苏州揽芯微纳科技有限公司,苏州市标准化协会,深圳市中图仪器股份有限公司,深圳市美思先端电子有限公司,深圳市道格特科技有限公司,中机生产力促进中心有限公司,东南大学,美满芯盛(杭州)微电子有限公司,四川富生电器有限责任公司,中国合格评定国家认可中心,

GB/T 42158-2023起草人:

张硕,顾枫,俞骁,周再发,许百宏,许克宇,李根梓,沈俊杰,王敏锐,贾建国,王志远,刘志广,

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