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1.
洁净级:由于洁净室内静电气流、空气流质和净化设备综合性能得到良好控制,因此洁净室内颗粒物浓度小于或等于0.1μm的浓度达到10个/m3或以下,其中洁净级的洁净室通常被称为高级洁净室。
2.
中等级:中等级的洁净室静电气流、空气流质和净化设备综合性能也得到良好控制,但洁净室内颗粒物浓度小于或等于0.1μm的浓度不低于10个/m3;其中中等级的洁净室通常被称为中等洁净室。
3.
一般级:一般级的洁净室空气流质和净化设备综合性能得到良好控制,但洁净室内颗粒物浓度小于或等于0.1μm的浓度不低于100个/m3;其中一般级的洁净室通常被称为普通洁净室。
4.
特殊级:特殊级的洁净室静电气流、空气流质和净