超纯水的标准是什么

电阻率大等于18.2M欧姆.cm，TOC<1ppb，这是两个最重要的指标了，其他的阴阳离和金属基本上都属于小于5-20PPT的级别了。

超纯水，又称UP水，电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。

目前科技水的纯净度也只有TDS质来衡量或是到有关部门做水质检测。

我TDS笔有售。不具体：钙离子质为0、镁离子为0、重金属为0、颗粒及可见物为0、H2O为100%