GB/T 16596-2019确定晶片坐标系规范国家标准
英文:Specification for establishing a wafer coordinate system GB/T 16596-2019介绍: 国家标准《确定晶片坐标系规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)...
英文:Specification for establishing a wafer coordinate system GB/T 16596-2019介绍: 国家标准《确定晶片坐标系规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)...