SJ/T 11761-2020200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范行业标准
SJ/T 11761-2020标准状态: 发布于2020-12-09 实施于2021-04-01 废止 SJ/T 11761-2020基础信息: 标准号:SJ/T 11761-2020 发布日期:2020-12-09 实施日期:2021-0...
SJ/T 11761-2020标准状态: 发布于2020-12-09 实施于2021-04-01 废止 SJ/T 11761-2020基础信息: 标准号:SJ/T 11761-2020 发布日期:2020-12-09 实施日期:2021-0...