GB/T 17874-2021电子特气三氯化硼标准
英文:Electronic specialty gas—Boron trichloride GB/T 17874-2021介绍: 国家标准《电子特气 三氯化硼》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC1(...
英文:Electronic specialty gas—Boron trichloride GB/T 17874-2021介绍: 国家标准《电子特气 三氯化硼》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC1(...