英文:Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips
GB/T 43748-2024介绍:
国家标准《微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位广东省科学院工业分析检测中心、南方科技大学、胜科纳米(苏州)股份有限公司。
主要起草人伍超群 、于洪宇 、乔明胜 、陈文龙 、周鹏 、邱杨 、黄晋华 、汪青 、程鑫 。
GB/T 43748-2024标准状态:
- 发布于2024-03-15
- 实施于2024-10-01
- 废止
GB/T 43748-2024基础信息:
标准号:GB/T 43748-2024
发布日期:2024-03-15
实施日期:2024-10-01
标准类别:方法
中国标准分类号:N 33
国际标准分类号: 71.040.40
归口单位:全国微束分析标准化技术委员会
执行单位:全国微束分析标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
GB/T 43748-2024起草单位:
广东省科学院工业分析检测中心,胜科纳米(苏州)股份有限公司,南方科技大学,
GB/T 43748-2024起草人:
伍超群, 于洪宇, 周鹏, 邱杨, 程鑫, 乔明胜,陈文龙,黄晋华,汪青,