英文:Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy
GB/T 36646-2018介绍:
国家标准《制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。
主要起草人刘鹏 、孙永健 、丁晓民 、冯亚彬 、王健辉 。
GB/T 36646-2018标准状态:
- 发布于2018-09-17
- 实施于2019-01-01
- 废止
GB/T 36646-2018基础信息:
标准号:GB/T 36646-2018
发布日期:2018-09-17
实施日期:2019-01-01
中国标准分类号:L95
国际标准分类号: 31.220
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
GB/T 36646-2018起草单位:
东莞市中镓半导体科技有限公司,中国电子技术标准化研究院,
GB/T 36646-2018起草人:
刘鹏,孙永健,王健辉,丁晓民,冯亚彬,