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GB/T 34504-2017蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法国家标准

英文:Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer

GB/T 34504-2017介绍:

国家标准《蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位天通控股股份有限公司。

主要起草人康森 、宋岩岩 、邵峰 、沈瞿欢 、於震杰 。

GB/T 34504-2017标准状态:

  1. 发布于2017-10-14
  2. 实施于2018-05-01
  3. 废止

GB/T 34504-2017基础信息:

标准号:GB/T 34504-2017

发布日期:2017-10-14

实施日期:2018-05-01

中国标准分类号:H17

国际标准分类号: 77.040

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

GB/T 34504-2017起草单位:

天通控股股份有限公司,

GB/T 34504-2017起草人:

康森,宋岩岩,於震杰,邵峰,沈瞿欢,

GB/T 34504-2017查看地址:

【GB/T 34504-2017】

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