英文:Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
GB/T 34504-2017介绍:
国家标准《蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位天通控股股份有限公司。
主要起草人康森 、宋岩岩 、邵峰 、沈瞿欢 、於震杰 。
GB/T 34504-2017标准状态:
- 发布于2017-10-14
- 实施于2018-05-01
- 废止
GB/T 34504-2017基础信息:
标准号:GB/T 34504-2017
发布日期:2017-10-14
实施日期:2018-05-01
中国标准分类号:H17
国际标准分类号: 77.040
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
GB/T 34504-2017起草单位:
天通控股股份有限公司,
GB/T 34504-2017起草人:
康森,宋岩岩,於震杰,邵峰,沈瞿欢,