GB/T 34326-2017表面化学分析深度剖析AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法国家标准

英文：Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS

GB/T 34326-2017介绍：

国家标准《表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位中国计量科学院。

主要起草人王海 、王梅玲 、张艾蕊 、宋小平 。

GB/T 34326-2017标准状态：

1. 发布于2017-09-29
2. 实施于2018-08-01
3. 废止

GB/T 34326-2017基础信息：

标准号：GB/T 34326-2017

发布日期：2017-09-29

实施日期：2018-08-01

中国标准分类号：G04

国际标准分类号： 71.040.40

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

执行单位：全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会

主管部门：国家标准化管理委员会

GB/T 34326-2017采标情况：

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 16531:2013。

采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准及相关电流或电流密度测量。

GB/T 34326-2017起草单位：

中国计量科学院，

GB/T 34326-2017起草人：

王海，王梅玲，张艾蕊，宋小平，