英文:Dichlorosilane for electronic industry
GB/T 38866-2020介绍:
国家标准《电子工业用二氯硅烷》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资(上海)有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司。
主要起草人丰雷 、叶家爱 、龚瑞 、杨剑 、刘畅 、万烨 、张园园 、王春英 、戴帅 、谢秋琪 、袁乐 、傅铸红 、禹金龙 、杨利 、于青玉 、方华 、曹作斌 、曲庆 、陈鹰 、李春华 、黄辉 、谭鹏程 、邓远方 、周鹏云 、李威 、方艾黎 、谭依玲 。
GB/T 38866-2020标准状态:
- 发布于2020-07-21
- 实施于2021-02-01
- 废止
GB/T 38866-2020基础信息:
标准号:GB/T 38866-2020
发布日期:2020-07-21
实施日期:2021-02-01
中国标准分类号:G86
国际标准分类号: 71.100.20
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门:国家标准化管理委员会
GB/T 38866-2020起草单位:
湖北晶星科技股份有限公司,洛阳中硅高科技有限公司,湖北光谷标准创新科技有限公司,浙江西亚特电子材料有限公司,大连大特气体有限公司,联雄投资(上海)有限公司,达州市质量技术监督检验测试中心,湖北省标准化与质量研究院,唐山三孚电子材料有限公司,广东华特气体股份有限公司,上海华爱色谱分析技术有限公司,上海市计量测试技术研究院,随州市信息与标准化所,西南化工研究设计院有限公司,
GB/T 38866-2020起草人:
丰雷,叶家爱,刘畅,万烨,戴帅,谢秋琪,禹金龙,杨利,曹作斌,曲庆,黄辉,谭鹏程,李威,方艾黎,龚瑞,杨剑,张园园,王春英,袁乐,傅铸红,于青玉,方华,陈鹰,李春华,邓远方,周鹏云,谭依玲,