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GB/T 38867-2020电子工业用四氯化硅标准

英文:Silicon tetrachloride for electronic industry

GB/T 38867-2020介绍:

国家标准《电子工业用四氯化硅》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资(上海)有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司。

主要起草人徐德 、张国光 、黄娣 、刘畅 、杨剑 、赵雄 、楚东旭 、王春英 、戴帅 、张竞 、黄国菲 、廖恒易 、陈艳珊 、杨利 、于青玉 、方华 、曹作斌 、曲庆 、陈鹰 、李春华 、黄辉 、谭鹏程 、邓远方 、周鹏云 、徐龙 、赵帅德 、唐霞梅 。

GB/T 38867-2020标准状态:

  1. 发布于2020-07-21
  2. 实施于2021-02-01
  3. 废止

GB/T 38867-2020基础信息:

标准号:GB/T 38867-2020

发布日期:2020-07-21

实施日期:2021-02-01

中国标准分类号:G86

国际标准分类号: 71.100.20

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会

主管部门:国家标准化管理委员会

GB/T 38867-2020起草单位:

湖北晶星科技股份有限公司,洛阳中硅高科技有限公司,湖北光谷标准创新科技有限公司,浙江西亚特电子材料有限公司,大连大特气体有限公司,联雄投资(上海)有限公司,达州市质量技术监督检验测试中心,湖北省标准化与质量研究院,唐山三孚电子材料有限公司,广东华特气体股份有限公司,上海华爱色谱分析技术有限公司,上海市计量测试技术研究院,随州市信息与标准化所,西南化工研究设计院有限公司,

GB/T 38867-2020起草人:

徐德,张国光,杨剑,赵雄,戴帅,张竞,陈艳珊,杨利,曹作斌,曲庆,黄辉,谭鹏程,徐龙,赵帅德,黄娣,刘畅,楚东旭,王春英,黄国菲,廖恒易,于青玉,方华,陈鹰,李春华,邓远方,周鹏云,唐霞梅,

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