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GB/T 38976-2020硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法标准

英文:Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method

GB/T 38976-2020介绍:

国家标准《硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、北京聚睿众邦科技有限公司、厦门银固美能源科技有限公司。

主要起草人王永涛 、孙燕 、徐新华 、胡金枝 、任丹雅 、赵志婷 、蔡丽艳 、杨素心 、陆敏 、林兴乐 。

GB/T 38976-2020标准状态:

  1. 发布于2020-07-21
  2. 实施于2021-06-01
  3. 废止

GB/T 38976-2020基础信息:

标准号:GB/T 38976-2020

发布日期:2020-07-21

实施日期:2021-06-01

中国标准分类号:H17

国际标准分类号: 77.040

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准化管理委员会

GB/T 38976-2020起草单位:

有研半导体材料有限公司,有色金属技术经济研究院,厦门银固美能源科技有限公司,上海合晶硅材料有限公司,北京聚睿众邦科技有限公司,

GB/T 38976-2020起草人:

王永涛,孙燕,任丹雅,赵志婷,陆敏,林兴乐,徐新华,胡金枝,蔡丽艳,杨素心,

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