英文:Gas for electronic industry—Silane
GB/T 15909-2017介绍:
国家标准《电子工业用气体 硅烷》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位西南化工研究设计院有限公司、浙江赛林硅业有限公司、广东华特气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、天津长芦华信化工股份有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海计量测试研究院、化工气体质检中心、江苏中能硅业科技发展有限公司、浙江中宁硅业有限公司、南京亚格泰新能源材料有限公司、浙江大学、安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司。
主要起草人余京松 、杨智敏 、傅铸红 、杜汉盛 、孙福楠 、牛艳东 、李长富 、周朋云 、曲庆 、方华 、陈鹰 、常侠 、刘晓霞 、周延江 、高平洲 、徐昕 。
GB/T 15909-2017标准状态:
- 发布于2017-05-31
- 实施于2017-12-01
- 废止
GB/T 15909-2017基础信息:
标准号:GB/T 15909-2017
发布日期:2017-05-31
实施日期:2017-12-01
全部代替标准:GB/T 15909-2009
标准类别:产品
中国标准分类号:G86
国际标准分类号: 71.100.20
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
GB/T 15909-2017替代以下标准:
全部代替GB/T 15909-2009
GB/T 15909-2017起草单位:
西南化工研究设计院有限公司,广东华特气体股份有限公司,高麦仪器公司,大连大特气体有限公司,上海计量测试研究院,江苏中能硅业科技发展有限公司,南京亚格泰新能源材料有限公司,安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司,浙江赛林硅业有限公司,中昊光明化工研究设计院有限公司,天津长芦华信化工股份有限公司,上海华爱色谱分析技术有限公司,化工气体质检中心,浙江中宁硅业有限公司,浙江大学,
GB/T 15909-2017起草人:
余京松,杨智敏,孙福楠,牛艳东,曲庆,方华,刘晓霞,周延江,傅铸红,杜汉盛,李长富,周朋云,陈鹰,常侠,高平洲,徐昕,