YS/T 987-2021氯硅烷中碳含量的测定？气相色谱质谱联用法行业标准

YS/T 987-2021标准状态：

1. 发布于2021-12-02
2. 实施于2022-04-01
3. 废止

YS/T 987-2021基础信息：

标准号：YS/T 987-2021

发布日期：2021-12-02

实施日期：2022-04-01

制修订：修订

代替标准：YS/T 987-2014

中国标准分类号：H17

国际标准分类号：77.040.30

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：制造业

标准类别：方法标准

YS/T 987-2021备案信息：

备案号：85561-2022

备案日期：2022-04-13

备案月报：2022年第4号(总第264号)

YS/T 987-2021适用范围：

本文件适用于氯硅烷中碳杂质（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷）含量的测定，测定范围（质量分数）为0.000 010%～0.10%。