GB/T 32999-2016表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率国家标准

英文：Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer

GB/T 32999-2016介绍：

国家标准《表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位北京师范大学分析测试中心、清华大学分析中心。

主要起草人吴正龙 、姚文清 。

GB/T 32999-2016标准状态：

1. 发布于2016-10-13
2. 实施于2017-09-01
3. 废止

GB/T 32999-2016基础信息：

标准号：GB/T 32999-2016

发布日期：2016-10-13

实施日期：2017-09-01

标准类别：方法

中国标准分类号：G04

国际标准分类号： 71.040.40

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

执行单位：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

GB/T 32999-2016采标情况：

本标准等同采用ISO国际标准：ISO/TR 22335:2007。

采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率。

GB/T 32999-2016起草单位：

北京师范大学分析测试中心，清华大学分析中心，

GB/T 32999-2016起草人：

吴正龙，姚文清，