GB/T 42263-2022硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法国家标准

英文：Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method

GB/T 42263-2022介绍：

国家标准《硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司。

主要起草人马农农 、何友琴 、李素青 、陈潇 、刘立娜 、何烜坤 。

GB/T 42263-2022标准状态：

1. 发布于2022-12-30
2. 实施于2023-04-01
3. 废止

GB/T 42263-2022基础信息：

标准号：GB/T 42263-2022

发布日期：2022-12-30

实施日期：2023-04-01

标准类别：方法

中国标准分类号：H17

国际标准分类号： 77.040

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

GB/T 42263-2022起草单位：

中国电子科技集团公司第四十六研究所，有色金属技术经济研究院有限责任公司，

GB/T 42263-2022起草人：

马农农，何友琴，刘立娜，何烜坤，李素青，陈潇，