GB/T 42276-2022氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定离子色谱法国家标准

英文：Determination of fluorine ion and chloride ion in silicon nitride powder—Ion chromatography method

GB/T 42276-2022介绍：

国家标准《氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位新特能源股份有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、瑞士万通中国有限公司、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、青岛瓷兴新材料有限公司。

主要起草人银波 、邱艳梅 、刘国霞 、黄彬 、李素青 、张吉武 、宋炳信 、鲁文锋 、王港 、李玫 、张正霞 、吴英良 、侯倩慧 、王晓娇 、曹家凯 、高裕昆 、崔巍 。

GB/T 42276-2022标准状态：

1. 发布于2022-12-30
2. 实施于2023-04-01
3. 废止

GB/T 42276-2022基础信息：

标准号：GB/T 42276-2022

发布日期：2022-12-30

实施日期：2023-04-01

标准类别：方法

中国标准分类号：H17

国际标准分类号： 77.040

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

GB/T 42276-2022起草单位：

新特能源股份有限公司，瑞士万通中国有限公司，青岛盛瀚色谱技术有限公司，有色金属技术经济研究院有限责任公司，青岛瓷兴新材料有限公司，新疆晶硕新材料有限公司，江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司，青岛普仁仪器有限公司，江苏联瑞新材料股份有限公司，

GB/T 42276-2022起草人：

银波，邱艳梅，李素青，张吉武，王港，李玫，侯倩慧，王晓娇，崔巍，刘国霞，黄彬，宋炳信，鲁文锋，张正霞，吴英良，曹家凯，高裕昆，