GB/T 42271-2022半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法国家标准

英文：Test method for resistivity of semi-insulating monocrystalline silicon carbide by contactless measurement

国家标准《半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位北京天科合达半导体股份有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、安徽长飞先进半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所。

主要起草人彭同华、佘宗静、王大军、张贺、李素青、王波、杨建、袁松、刘立娜。

标准号：GB/T 42271-2022

发布日期：2022-12-30

实施日期：2023-04-01

标准类别：方法

中国标准分类号：H21

国际标准分类号： 77.040

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

北京天科合达半导体股份有限公司，安徽长飞先进半导体有限公司，中国电子科技集团公司第四十六研究所，中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟，有色金属技术经济研究院有限责任公司，

彭同华，佘宗静，李素青，王波，刘立娜，王大军，张贺，杨建，袁松，