七点标准网英文：Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
GB/T 41153-2021介绍：
国家标准《碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东天岳先进科技股份有限公司。
主要起草人马农农 、何友琴 、陈潇 、刘立娜 、何烜坤 、李素青 、张红岩 。
GB/T 41153-2021标准状态：
- 发布于2021-12-31
- 实施于2022-07-01
- 废止
GB/T 41153-2021基础信息：
标准号：GB/T 41153-2021
发布日期：2021-12-31
实施日期：2022-07-01
中国标准分类号：H17
国际标准分类号： 77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
GB/T 41153-2021起草单位：
中国电子科技集团公司第四十六研究所，山东天岳先进科技股份有限公司，有色金属技术经济研究院有限责任公司，
GB/T 41153-2021起草人：
马农农，何友琴，何烜坤，李素青，陈潇，刘立娜，张红岩，