GB/T 37466-2019氮化镓激光剥离设备国家标准

英文：Laser lift-off equipment used for GaN

GB/T 37466-2019介绍：

国家标准《氮化镓激光剥离设备》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。

主要起草人孙永健 、刘鹏 、丁晓民 、冯亚彬 、汪青 。

GB/T 37466-2019标准状态：

1. 发布于2019-06-04
2. 实施于2019-10-01
3. 废止

GB/T 37466-2019基础信息：

标准号：GB/T 37466-2019

发布日期：2019-06-04

实施日期：2019-10-01

中国标准分类号：L95

国际标准分类号： 31-550

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

GB/T 37466-2019起草单位：

东莞市中镓半导体科技有限公司，中国电子技术标准化研究院，

GB/T 37466-2019起草人：

孙永健，刘鹏，汪青，丁晓民，冯亚彬，

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