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GB/T 37049-2018电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法国家标准

英文:Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method

GB/T 37049-2018介绍:

国家标准《电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位江苏中能硅业科技发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、有研半导体材料有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司。

主要起草人鲁文锋 、刘晓霞 、秦榕 、孙燕 、赵而敬 、王桃霞 、赵玉 、王忠慧 、柳德发 、张园园 、银波 、邱艳梅 、刘强 。

GB/T 37049-2018标准状态:

  1. 发布于2018-12-28
  2. 实施于2019-04-01
  3. 废止

GB/T 37049-2018基础信息:

标准号:GB/T 37049-2018

发布日期:2018-12-28

实施日期:2019-04-01

中国标准分类号:H17

国际标准分类号: 77.040.30

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

GB/T 37049-2018起草单位:

江苏中能硅业科技发展有限公司,有研半导体材料有限公司,新特能源股份有限公司,青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司,宜昌南玻硅材料有限公司,洛阳中硅高科技有限公司,

GB/T 37049-2018起草人:

鲁文锋,刘晓霞,赵而敬,王桃霞,柳德发,张园园,刘强,秦榕,孙燕,赵玉,王忠慧,银波,邱艳梅,

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