SJ/T 11761-2020标准状态:
- 发布于2020-12-09
- 实施于2021-04-01
- 废止
SJ/T 11761-2020基础信息:
标准号:SJ/T 11761-2020
发布日期:2020-12-09
实施日期:2021-04-01
制修订:制定
中国标准分类号:L 95
国际标准分类号:31.55
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:无
标准类别:产品标准
SJ/T 11761-2020备案信息:
备案号:80907-2021
备案日期:2021-03-05
备案月报:2021年第3号(总第251号)
SJ/T 11761-2020适用范围:
适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口
SJ/T 11761-2020起草单位:
上海微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中微半导体设备(上海)有限公司等
SJ/T 11761-2020起草人:
胡松立、郑教增、冯亚彬 等