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GB/T 40577-2021集成电路制造设备术语标准

英文:Terminology for integrated circuit(IC)manufacturing equipment

GB/T 40577-2021介绍:

国家标准《集成电路制造设备术语》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位中国电子技术标准化研究院、浙江晶盛机电股份有限公司、中电科电子装备集团有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司。

主要起草人张军华 、冯亚彬 、曹可慰 、曹建伟 、裴会川 、朱亮 、周哲 、武小娟 、杜若昕 、唐彩红 、丁晓民 、傅林坚 、魏唯 、田涛 、刘英斌 、李国平 、王宏智 。

GB/T 40577-2021标准状态:

  1. 发布于2021-10-11
  2. 实施于2022-05-01
  3. 废止

GB/T 40577-2021基础信息:

标准号:GB/T 40577-2021

发布日期:2021-10-11

实施日期:2022-05-01

中国标准分类号:L95

国际标准分类号: 31.220

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

GB/T 40577-2021起草单位:

中国电子技术标准化研究院,中电科电子装备集团有限公司,中微半导体设备(上海)股份有限公司,东莞市中镓半导体科技有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司,北京北方华创微电子装备有限公司,上海微电子装备(集团)股份有限公司,江苏卓远半导体有限公司,

GB/T 40577-2021起草人:

张军华,冯亚彬,裴会川,朱亮,杜若昕,唐彩红,魏唯,田涛,王宏智,曹可慰,曹建伟,周哲,武小娟,丁晓民,傅林坚,刘英斌,李国平,

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