七点标准网英文：Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
GB/T 40577-2021介绍：
国家标准《集成电路制造设备术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位中国电子技术标准化研究院、浙江晶盛机电股份有限公司、中电科电子装备集团有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司。
主要起草人张军华 、冯亚彬 、曹可慰 、曹建伟 、裴会川 、朱亮 、周哲 、武小娟 、杜若昕 、唐彩红 、丁晓民 、傅林坚 、魏唯 、田涛 、刘英斌 、李国平 、王宏智 。
GB/T 40577-2021标准状态：
- 发布于2021-10-11
- 实施于2022-05-01
- 废止
GB/T 40577-2021基础信息：
标准号：GB/T 40577-2021
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
中国标准分类号：L95
国际标准分类号： 31.220
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
GB/T 40577-2021起草单位：
中国电子技术标准化研究院，中电科电子装备集团有限公司，中微半导体设备（上海）股份有限公司，东莞市中镓半导体科技有限公司，浙江晶盛机电股份有限公司，北京北方华创微电子装备有限公司，上海微电子装备（集团）股份有限公司，江苏卓远半导体有限公司，
GB/T 40577-2021起草人：
张军华，冯亚彬，裴会川，朱亮，杜若昕，唐彩红，魏唯，田涛，王宏智，曹可慰，曹建伟，周哲，武小娟，丁晓民，傅林坚，刘英斌，李国平，