七点标准网英文：Monocrystalline silicon polished wafers
GB/T 12964-2018介绍：
国家标准《硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、有色金属技术经济研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司。
主要起草人孙燕 、卢立延 、徐新华 、张海英 、楼春兰 、杨素心 、潘金平 、张雪囡 。
GB/T 12964-2018标准状态：
- 发布于2018-09-17
- 实施于2019-06-01
- 废止
GB/T 12964-2018基础信息：
标准号：GB/T 12964-2018
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-06-01
全部代替标准：GB/T 12964-2003
中国标准分类号：H82
国际标准分类号： 29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
GB/T 12964-2018替代以下标准：
全部代替GB/T 12964-2003
GB/T 12964-2018起草单位：
有研半导体材料有限公司，浙江金瑞泓科技股份有限公司，浙江省硅材料质量检验中心，天津市环欧半导体材料技术有限公司，上海合晶硅材料有限公司，浙江海纳半导体有限公司，有色金属技术经济研究院，
GB/T 12964-2018起草人：
孙燕，卢立延，楼春兰，杨素心，徐新华，张海英，潘金平，张雪囡，