英文:200mm silicon epitaxial wafer
GB/T 35310-2017介绍:
国家标准《200mm硅外延片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院。
主要起草人马林宝 、骆红 、杨帆 、金龙 、杨素心 。
GB/T 35310-2017标准状态:
- 发布于2017-12-29
- 实施于2018-07-01
- 废止
GB/T 35310-2017基础信息:
标准号:GB/T 35310-2017
发布日期:2017-12-29
实施日期:2018-07-01
中国标准分类号:H82
国际标准分类号: 29.045
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
GB/T 35310-2017起草单位:
南京国盛电子有限公司,有色金属技术经济研究院,
GB/T 35310-2017起草人:
马林宝,骆红,杨素心,杨帆,金龙,