欢迎光临
我们一直在努力

GB/T 40109-2021表面化学分析二次离子质谱硅中硼深度剖析方法标准

英文:Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of boron in silicon

GB/T 40109-2021介绍:

国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口上报,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所。

主要起草人马农农 、何友琴 、陈潇 、张鑫 、王东雪 、李展平 。

GB/T 40109-2021标准状态:

  1. 发布于2021-05-21
  2. 实施于2021-12-01
  3. 废止

GB/T 40109-2021基础信息:

标准号:GB/T 40109-2021

发布日期:2021-05-21

实施日期:2021-12-01

中国标准分类号:G04

国际标准分类号: 71.040.40

归口单位:全国微束分析标准化技术委员会

执行单位:全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会

主管部门:国家标准化管理委员会

GB/T 40109-2021采标情况:

本标准等同采用ISO国际标准:ISO 17560:2014。

采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法。

GB/T 40109-2021起草单位:

中国电子科技集团公司第四十六研究所,

GB/T 40109-2021起草人:

马农农,何友琴,王东雪,李展平,陈潇,张鑫,

赞(0)
版权声明:本文内容来自互联网用户的分享,版权归属原作者。如侵犯,请联系,经核实,我们将第一时间删除。
文章名称:《GB/T 40109-2021表面化学分析二次离子质谱硅中硼深度剖析方法标准》
文章链接:http://www.zhengce.xyz/2481.html
本站资源仅供个人学习交流,不允许用于商业用途,否则法律问题自行承担。