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GB/T 26069-2022硅单晶退火片标准

英文: Annealed monocrystalline silicon wafers

GB/T 26069-2022介绍:

国家标准《硅单晶退火片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位有研半导体硅材料股份公司、山东有研半导体材料有限公司、浙江众晶电子有限公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、开化县检验检测研究院、浙江中晶科技股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体有限公司、中环领先半导体材料有限公司。

主要起草人孙燕 、宁永铎 、楼春兰 、陈锋 、黄笑容 、王振国 、张海英 、潘金平 、由佰玲 。

GB/T 26069-2022标准状态:

  1. 发布于2022-03-09
  2. 实施于2022-10-01
  3. 废止

GB/T 26069-2022基础信息:

标准号:GB/T 26069-2022

发布日期:2022-03-09

实施日期:2022-10-01

全部代替标准:GB/T 26069-2010

中国标准分类号:H82

国际标准分类号: 29.045

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准化管理委员会

GB/T 26069-2022替代以下标准:

全部代替GB/T 26069-2010

GB/T 26069-2022起草单位:

有研半导体硅材料股份公司,浙江众晶电子有限公司,开化县检验检测研究院,浙江金瑞泓科技股份有限公司,中环领先半导体材料有限公司,山东有研半导体材料有限公司,洛阳鸿泰半导体有限公司,浙江中晶科技股份有限公司,浙江海纳半导体有限公司,

GB/T 26069-2022起草人:

孙燕,宁永铎,黄笑容,王振国,由佰玲,楼春兰,陈锋,张海英,潘金平,

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