英文: Annealed monocrystalline silicon wafers
GB/T 26069-2022介绍:
国家标准《硅单晶退火片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位有研半导体硅材料股份公司、山东有研半导体材料有限公司、浙江众晶电子有限公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、开化县检验检测研究院、浙江中晶科技股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体有限公司、中环领先半导体材料有限公司。
主要起草人孙燕 、宁永铎 、楼春兰 、陈锋 、黄笑容 、王振国 、张海英 、潘金平 、由佰玲 。
GB/T 26069-2022标准状态:
- 发布于2022-03-09
- 实施于2022-10-01
- 废止
GB/T 26069-2022基础信息:
标准号:GB/T 26069-2022
发布日期:2022-03-09
实施日期:2022-10-01
全部代替标准:GB/T 26069-2010
中国标准分类号:H82
国际标准分类号: 29.045
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门:国家标准化管理委员会
GB/T 26069-2022替代以下标准:
全部代替GB/T 26069-2010
GB/T 26069-2022起草单位:
有研半导体硅材料股份公司,浙江众晶电子有限公司,开化县检验检测研究院,浙江金瑞泓科技股份有限公司,中环领先半导体材料有限公司,山东有研半导体材料有限公司,洛阳鸿泰半导体有限公司,浙江中晶科技股份有限公司,浙江海纳半导体有限公司,
GB/T 26069-2022起草人:
孙燕,宁永铎,黄笑容,王振国,由佰玲,楼春兰,陈锋,张海英,潘金平,