七点标准网英文：Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine
GB/T 41652-2022介绍：
国家标准《刻蚀机用硅电极及硅环》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位有研半导体硅材料股份公司、山东有研半导体材料有限公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司、浙江海纳半导体有限公司。
主要起草人库黎明 、孙燕 、闫志瑞 、张果虎 、夏秋良 、潘金平 。
GB/T 41652-2022标准状态：
- 发布于2022-07-11
- 实施于2023-02-01
- 废止
GB/T 41652-2022基础信息：
标准号：GB/T 41652-2022
发布日期：2022-07-11
实施日期：2023-02-01
中国标准分类号：H 82
国际标准分类号： 29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
GB/T 41652-2022起草单位：
有研半导体硅材料股份公司，新美光（苏州）半导体科技有限公司，山东有研半导体材料有限公司，浙江海纳半导体有限公司，
GB/T 41652-2022起草人：
库黎明，孙燕，夏秋良，潘金平，闫志瑞，张果虎，