GB/T 14139-2019硅外延片国家标准

英文：Silicon epitaxial wafers

GB/T 14139-2019介绍：

国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位浙江金瑞泓科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司。

主要起草人张海英 、李慎重 、蒋玉龙 、骆红 、胡金枝 、卢立延 、李素青 。

GB/T 14139-2019标准状态：

1. 发布于2019-06-04
2. 实施于2020-05-01
3. 废止

GB/T 14139-2019基础信息：

标准号：GB/T 14139-2019

发布日期：2019-06-04

实施日期：2020-05-01

全部代替标准：GB/T 14139-2009

中国标准分类号：H82

国际标准分类号： 29.045

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门：国家标准化管理委员会

GB/T 14139-2019替代以下标准：

全部代替GB/T 14139-2009

GB/T 14139-2019起草单位：

浙江金瑞泓科技股份有限公司，上海合晶硅材料有限公司，有研半导体材料有限公司，南京国盛电子有限公司，有色金属技术经济研究院，

GB/T 14139-2019起草人：

张海英，李慎重，胡金枝，卢立延，蒋玉龙，骆红，李素青，

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