英文:Information model for containing process chamber IC equipment design
GB/T 37959-2019介绍:
国家标准《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》由TC159(全国自动化系统与集成标准化技术委员会)归口上报,TC159SC5(全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会)执行,主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位中车信息技术有限公司、清华大学、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国石油规划总院。
主要起草人顾明 、程嘉 、李丽 、季林红 、陈莉 、曹自立 、张颖 、黎晓东 、王海丹 、王峰 。
GB/T 37959-2019标准状态:
- 发布于2019-08-30
- 实施于2020-03-01
- 废止
GB/T 37959-2019基础信息:
标准号:GB/T 37959-2019
发布日期:2019-08-30
实施日期:2020-03-01
中国标准分类号:J07
国际标准分类号: 35.240.50
归口单位:全国自动化系统与集成标准化技术委员会
执行单位:全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会
主管部门:中国机械工业联合会
GB/T 37959-2019起草单位:
中车信息技术有限公司,北京机械工业自动化研究所有限公司,清华大学,中国石油规划总院,
GB/T 37959-2019起草人:
顾明,程嘉,陈莉,曹自立,王海丹,王峰,李丽,季林红,张颖,黎晓东,