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GB/T 16596-2019确定晶片坐标系规范国家标准

英文:Specification for establishing a wafer coordinate system

GB/T 16596-2019介绍:

国家标准《确定晶片坐标系规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司。

主要起草人卢立延 、孙燕 、潘金平 、杨素心 、楼春兰 、胡金枝 、李素青 。

GB/T 16596-2019标准状态:

  1. 发布于2019-03-25
  2. 实施于2020-02-01
  3. 废止

GB/T 16596-2019基础信息:

标准号:GB/T 16596-2019

发布日期:2019-03-25

实施日期:2020-02-01

全部代替标准:GB/T 16596-1996

中国标准分类号:H80

国际标准分类号: 29.045

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准化管理委员会

GB/T 16596-2019替代以下标准:

全部代替GB/T 16596-1996

GB/T 16596-2019起草单位:

有色金属技术经济研究院,浙江海纳半导体有限公司,上海合晶硅材料有限公司,有研半导体材料有限公司,浙江省硅材料质量检验中心,

GB/T 16596-2019起草人:

卢立延,孙燕,楼春兰,胡金枝,潘金平,杨素心,李素青,

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