英文:Micro-electromechanical system technology—Measuring method for residual strain measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
GB/T 34900-2017介绍:
国家标准《微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位天津大学、中机生产力促进中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、南京理工大学、中国电子科技集团公司第十三研究所。
主要起草人郭彤 、胡晓东 、李海斌 、于振毅 、裘安萍 、程红兵 、崔波 、朱悦 。
GB/T 34900-2017标准状态:
- 发布于2017-11-01
- 实施于2018-05-01
- 废止
GB/T 34900-2017基础信息:
标准号:GB/T 34900-2017
发布日期:2017-11-01
实施日期:2018-05-01
中国标准分类号:L55
国际标准分类号: 31.200
归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
GB/T 34900-2017起草单位:
天津大学,国家仪器仪表元器件质量监督检验中心,中国电子科技集团公司第十三研究所,中机生产力促进中心,南京理工大学,
GB/T 34900-2017起草人:
郭彤,胡晓东,裘安萍,程红兵,李海斌,于振毅,崔波,朱悦,