英文:Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Bend-and shear-type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures
GB/T 41852-2022介绍:
国家标准《半导体器件 微机电器件 MEMS结构黏结强度的弯曲和剪切试验方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位中国电子科技集团公司第十三研究所、河北美泰电子科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、绍兴中芯集成电路制造股份有限公司、武汉飞恩微电子有限公司、江苏紫心新材料研究院有限公司、宁波志伦电子有限公司。
主要起草人李倩 、王伟强 、李根梓 、顾枫 、单伟中 、周嘉 、李志东 、崔波 、武亚宵 、田松杰 、李凡亮 、潘安宇 、茅曙 。
GB/T 41852-2022标准状态:
- 发布于2022-10-12
- 实施于2022-10-12
- 废止
GB/T 41852-2022基础信息:
标准号:GB/T 41852-2022
发布日期:2022-10-12
实施日期:2022-10-12
标准类别:方法
中国标准分类号:L55
国际标准分类号: 31.080.99
归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
GB/T 41852-2022采标情况:
本标准等同采用IEC国际标准:IEC 62047-13:2012。
采标中文名称:半导体器件 微电子机械器件 第13部分:MEMS结构粘附强度的弯曲和剪切试验方法。
GB/T 41852-2022起草单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所,中机生产力促进中心有限公司,武汉飞恩微电子有限公司,宁波志伦电子有限公司,河北美泰电子科技有限公司,绍兴中芯集成电路制造股份有限公司,江苏紫心新材料研究院有限公司,
GB/T 41852-2022起草人:
李倩,王伟强,单伟中,周嘉,武亚宵,田松杰,茅曙,李根梓,顾枫,李志东,崔波,李凡亮,潘安宇,