GB/T 36053-2018X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告国家标准

英文：Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

GB/T 36053-2018介绍：

国家标准《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位中国计量科学研究院。

主要起草人王海 、王梅玲 、张艾蕊 、宋小平 。

GB/T 36053-2018标准状态：

1. 发布于2018-03-15
2. 实施于2019-02-01
3. 废止

GB/T 36053-2018基础信息：

标准号：GB/T 36053-2018

发布日期：2018-03-15

实施日期：2019-02-01

中国标准分类号：G04

国际标准分类号： 71.040.40

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

执行单位：全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会

主管部门：国家标准化管理委员会

GB/T 36053-2018采标情况：

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 16413:2013。

采标中文名称:X射线反射测量法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度—仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告。

GB/T 36053-2018起草单位：

中国计量科学研究院，

GB/T 36053-2018起草人：

王海，王梅玲，张艾蕊，宋小平，