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GB/T 36053-2018X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告国家标准

英文:Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

GB/T 36053-2018介绍:

国家标准《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口上报,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位中国计量科学研究院。

主要起草人王海 、王梅玲 、张艾蕊 、宋小平 。

GB/T 36053-2018标准状态:

  1. 发布于2018-03-15
  2. 实施于2019-02-01
  3. 废止

GB/T 36053-2018基础信息:

标准号:GB/T 36053-2018

发布日期:2018-03-15

实施日期:2019-02-01

中国标准分类号:G04

国际标准分类号: 71.040.40

归口单位:全国微束分析标准化技术委员会

执行单位:全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会

主管部门:国家标准化管理委员会

GB/T 36053-2018采标情况:

本标准等同采用ISO国际标准:ISO 16413:2013。

采标中文名称:X射线反射测量法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度—仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告。

GB/T 36053-2018起草单位:

中国计量科学研究院,

GB/T 36053-2018起草人:

王海,王梅玲,张艾蕊,宋小平,

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文章名称:《GB/T 36053-2018X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告国家标准》
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