GB/T 40418-2021电子特气氟甲烷标准
英文:Electronic specialty gas—Fluoromethane GB/T 40418-2021介绍: 国家标准《电子特气 氟甲烷》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC1(全国半导体...
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